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α-C相关论文

α-C：H膜系与氮化物膜系的结构性能比较及机理分析

采用非平衡磁控溅射与阳极离子束技术制备Cr/α-C：H膜系,同时采用多弧离子镀技术分别制备Cr/CrNx与Ti/TiNx膜系,膜层厚度均为2μm。......

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离子束技术 α-C H膜多弧离子镀 TIN膜 CrN膜 Ion beam technique α-C：H film Arc ion Plating TiN f

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