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三维微观轮廓相关论文
基于白光相移干涉法的表面三维微观轮廓测量技术研究
在生产加工过程中,随着光学元件、微机械以及其它各种零件精加工表面的不断出现,对零件表面的性能要求越来越高。相应地,对零件表面微......
学位
白光干涉
三维微观轮廓
相移驱动器
高斯滤波
粗糙度
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