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硅微加速度计在军事及民用领域具有广阔的应用前景。三轴微加速度计可以同时检测三个轴向的加速度,并且体积小、质量轻、功耗低,可......
采用刻蚀氧化硅牺牲层、沉淀多晶硅、再次刻蚀多晶硅的工艺,设计了基于单一敏感质量块的全差分三轴电容式加速度计。根据外界加速......
设计了一种具有单一检测质量的力平衡式三轴微加速度计．采用硅-硅键合工艺形成作为单一检测质量块的硅片组合。利用全差分电容检测......
基于CSMC0.5um CMOS工艺,给出了一款3轴电容式微加速度计接口ASIC的详细设计方案。利用时分复用技术实现了使用同一电路模块同时检......
三轴电容式微加速度计具有体积小、重量轻、精度高、可靠性高等优点,广泛应用于军事装备、汽车电子、智能终端等领域。受制于材料......
微机械加速度计具有体积小、寿命长、功耗低和易于批量生产的特点,广泛应用于战术导弹中段制导、灵巧炸弹和各种相对低精度的商用......
