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中低温制备相关论文
CaBi2Nb2O9薄膜的中低温制备及其电学性能研究
随着半导体工业的发展,器件向微型化、集成化方向转变成为必然趋势,将铁电功能薄膜与CMOS-Si集成技术高效结合,可实现新型传感、驱......
学位
铌酸铋钙
磁控溅射法
中低温制备
电学性能
快速退火
PZT铁电薄膜的中低温磁控溅射制备及其性能研究
铁电薄膜具有优良的性能,如铁电性、压电性、热释电性、介电性、非线性光学性质以及电光学性质,使其在微电子和光电子学、大数据、......
学位
铁电薄膜
锆钛酸铅
双层薄膜
厚度比例
中低温制备
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