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中频磁控溅射TiAlBN涂层相关论文
电弧源掺入Al、B离子改性TiN涂层性能的研究
采用AlB12+2%AlB10电弧靶与Ti靶中频磁控溅射共沉积的工艺,在高速钢基体上形成Ti-Al-B-N多元复合涂层。电子扫描电镜(SEM)、X射线衍射......
期刊
电弧源
中频磁控溅射TiAlBN涂层
TIN涂层
共沉积
arc ion plating intermediate frequency unbalanced m
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