中频非平衡磁控溅射相关论文
本文首先对类金刚石薄膜和TiAIN薄膜的研究背景、结构性能、制备方法、表征、应用以及生长机理进行了综述。在此基础上，将非平衡磁......
TiAlN硬质薄膜具有比TiN薄膜更加优良的性能,如高硬度、高抗氧化温度、良好的耐蚀性和耐磨性等。因此,TiAlN薄膜在切削刀具、工模......
采用激光拉曼光谱、轮廓仪、色差仪、微纳米力学综合测试系统、摩擦磨损试验机等设备,对霍尔等离子体源辅助中频非平衡磁控溅射制......
TiAlN硬质薄膜具有比TiN薄膜更加优良的性能，如高硬度、高抗氧化温度、良好的耐蚀性和耐磨性等。因此，TiAlN薄膜在切削刀具、工模具......
本文以工业化应用为出发点,以制备高性能掺杂类金刚石薄膜为目的,利用中频非平衡磁控溅射系统制备了类金刚石薄膜,研究了石墨靶功......
为了解决硬质合金在使用中出现的问题,硬质合金镀层开始登上历史舞台。TiAlN薄膜具有硬度高、热硬性好、氧化温度高、附着力强等优......
