用临界钝化电流法和液晶法，研究了不锈钢上Ｔａ２Ｏ５，ＺｒＯ２的高频溅射膜的缺陷率，建立了ＣＰＣＤ法中与薄膜有关的电流密度Ｉｆ与膜厚ｄ之间的关系式：Ｉｆ＝ｋ（１－θ）＾ｄ，利用液晶的动......