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基于MEMS方块谐振器的10 MHz振荡器
方块谐振器的品质因数(Q)很高,但是插入损耗也很大。为了得到低相噪的微机电系统(MEMS)振荡器,需要进一步提高方块谐振器的 Q值,降低谐振......
期刊
微机电系统谐振器
二阶模态
锚点损耗
相位噪声
Micro Electromechanical System resonator
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anc
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