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互连芯片相关论文
增强混成式焦平面器件互连芯片可靠性的几点措施
主要讨论了互连及后继工序对互连芯片的要求,以及提高互连芯片可靠性的几点措施,如重熔原理与方法、互连参数选择、聚胺树脂填充等......
期刊
焦平面阵列
可靠性
红外探测器
互连芯片
混成式焦平面器件
互连芯片CMP接触去除过程数值模拟分析
随着半导体工业的高速发展,对芯片技术提出提高集成电路(IC)生产效率、集成度、减小器件尺寸的要求,致使传统抛光技术不能满足新型......
学位
互连芯片
分形粗糙面
氧化膜
接触去除
数值模拟
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