交叉光互连相关论文
采用光学全息的方法制备互连元件(布喇格衍射型体积相位光栅).当光束垂直入射该光栅时,只有0级透射光和+1级衍射光,可以较容易地得......
用红敏光致聚合物作为全息干版、波长为630 nm He-Ne光源曝光、焦距为4 cm的2个柱透镜及按不同互连功能分区域曝光的方法制备了二......
