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介观尺度制造相关论文

面向介观尺度制造的螺杆型压电作动器

提出一种可应用于介观尺度零件精密加工进给的螺杆型直线压电作动器,该作动器定子与转子通过精密螺旋副相啮合.首先,建立了该直线......

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介观尺度压电作动器精密螺旋副螺杆定子螺旋副谐振频率介观尺度制造驱动频率进给速度

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