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微透镜阵列慢刀伺服金刚石车削位置精度的研究
为了进一步提高超精密慢刀伺服车削微透镜阵列的加工精度,采用实验的方法,通过分组加工法加工了矩形口径微透镜阵列和六边形口径微......
期刊
微透镜阵列
慢刀伺服
位置精度误差
超精密加工
micro-lens arrayslow tool servoposition accuracy errorul
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