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低温热退火相关论文
ICP腔室压力对AlGaN表面刻蚀损伤的影响
对高Al组分AlxGa1-xN(x=50%)进行了ICP刻蚀实验研究,在刻蚀深度相同的前提条件下,对比分析了ICP腔室压力与AlGaN表面损伤之间的相......
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