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低温缓冲层技术相关论文
Si基SiGe、Ge弛豫衬底生长及其Ge光电探测器研制
硅基硅锗材料因其优越的性能,特别是与成熟硅微电子工艺相兼容,在硅基光电子器件如光电探测器、场效应晶体管等方面得到了广泛的应......
学位
低温缓冲层技术
硅锗弛豫衬底
锗薄膜
光电探测器
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