体蚀刻速率相关硕士博士期刊学术论文

核孔膜是通过重离子照射薄膜后进行化学蚀刻所得到的高性能过滤材料，蚀刻速率是影响高质量核孔膜制备的重要因素。本文探讨了不同蚀......