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修正环型纳米级超精密抛光机相关论文

修正环型纳米级超精密抛光机智能控制系统的实现

针对现阶段抛光加工存在精度低、产品质量一致性差、成品率及生产效率低等问题,提出了一种适于高精度、高效率抛光加工的智能控制......

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修正环型纳米级超精密抛光机智能控制系统抛光加工金属抛光 conditioning ring ultraprecision planarization m

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