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改良西门子法是多晶硅的主流生产工艺,其核心反应器还原炉的大型化发展趋势明显,导致生产中倒棒的发生概率进一步加大,给提高生产......
分析了多晶硅还原炉倒棒的危害,并对多晶硅还原炉倒棒的原因进行了探究,最后给出了预防多晶硅还原炉倒棒的有效措施,为预防多晶硅还原......