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采用快速退火工艺,促使非晶硅膜固相晶化,获得具备器件质量的微晶硅膜,以此晶化膜作基本材料,采取侧向光伏效应的工作模式,以金属-绝缘体......
以横向光伏效应为工作模式,采用氢化非晶硅(a-Si:H)的快速退火固相晶化工艺,我们成功地研制了一维MIS结构的多晶硅(poly-Si)光位敏探测器(PSDs).测试结果表明:该器......