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光刻膜片相关论文
光刻膜片在膜片阀中的应用
介绍了膜片光刻的工艺原理、工艺过程及其特点,论述了利用双面自对准光刻模具与膜片母材厚度之间的关系控制膜片槽深的机理,介绍了......
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膜片阀
光刻膜片
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burst valve photoetching
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