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光学成像显微镜相关论文

氧化硅光波导侧壁角测量精度的提高

氧化硅波导芯层的侧壁粗糙度和角度是导致器件产生光损耗的主要原因之一。为精确测量沉积包层后氧化硅波导芯层侧壁角,研究了一种......

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光学测量氧化硅波导光学成像显微镜沉积后波导芯层侧壁角度 optical measurement silica waveguide optical ima

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