光学检漏相关论文
光学检漏(OLT)是借助先进的数字电子全息照相干涉测量技术,实现同步完成传统气密封装的细检漏、粗检漏过程的一项新型检漏技术。重......
介绍了全息激光光学检漏的工作原理,比较全面地总结了全息光学检漏的技术特点,以及集成电路生产企业引入全息光学检漏的意义。利用......
