通过研究提出了一种新颖的利用微光机电系统技术（MOEMS）制造的光栅平动式光调制器GMLM，它可以利用衍射原理对光进行动态调制，其设计适......

对微机电系统（Micro-electro-mechanical systems,MEMS）器件残余应力的测量方法大都需要有标准的测试结构。这些测试结构体积较大,一......

依据傅里叶光学理论，采用在频谱面上放置两种空间滤波器的方法进行信号处理，分析了光栅平动式光调制器在成像面上的强度分布情况，实现......

目前,在显示市场中,基于MOEMS(微光机电系统)技术制造的光调制器以其优良的性能获得高速的发展和广泛的应用。MOEMS光调制器作为显......

基于MOEMS（Micro—opto—electro-mechanical Systems）的光栅平动式光调制器依靠结构中的蟹型悬臂梁在静电力作用下的上下运动来改变......

提出了一种新颖的面向激光投影的微光机电系统(MOEMS)光栅平动式光调制器(GMLM),利用衍射原理对光进行动态调制,具有较简单的工艺......