光栅纳米测量相关论文
缺乏有效的误差补偿方法是制约长光栅测量精度提高的关键原因之一。提出一种动态的误差补偿方法，可以消除由直流漂移、两路信号不等......
光栅计量技术向纳米测量发展需要更高的光栅细分倍数。基于所研制的快速互补函数细分算法,细分精度即仅取决于测量启停时刻的光栅......
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概括分析了光栅纳米测量中双光栅测量系统、炫耀光栅测量系统、基于误差修正技术的纳米光栅测量系统的测量原理及其关键技术，重点讨......
大行程纳米定位驱动控制技术是三维测量系统研究中的一项关键技术。目前,微行程的纳米定位驱动控制技术已经成熟,但具有纳米定位精......
