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氢化非晶硅薄膜（a-Si:H）是近二十年来发展起来的一种新型的功能材料，在新能源和信息显示等高科技技术领域起着日益重要的作用。然而，光......
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氢化非晶硅薄膜(a-Si：H)已经被广泛应用于太阳能电池、薄膜晶体管(TFT)、大面积显示技术等半导体器件领域。但在光照条件下发现材料......
采用热丝辅助微波电子回旋共振化学汽相沉积(MW ECR-CVD)系统制备氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜.实验证明在原有的MW ECR-CVD基础上加入......
采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比......
综述了非晶／微晶相变区硅基薄膜的微观结构、光电特性及其在太阳能电池中的应用进展．稳定优质的宽带隙初始晶硅薄膜处于非晶／微晶相变......
采用MW-ECR CVD方法制备的a-Si:H薄膜在模拟太阳光照射下进行光敏性(σp.σ d)和光致衰退测试.对比了有、无热丝辅助沉积的薄膜的......
