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本文研究了用金属有机物气相外延(MOVPE)方法在GaAs(001)衬底上生长的立方相GaN(c-GaN)外延层的光辅助湿法腐蚀特性,并和生长在蓝......
研究了用金属有机物气相外延 (MOVPE)方法在 Ga As(0 0 1)衬底上生长的立方相 Ga N(c- Ga N)外延层的光辅助湿法腐蚀特性 ,并和生......
本工作报道了一种光辅助湿法腐蚀半导体氮化物ＧａＮ的新方法。这一腐蚀技术具有简单，易控制和低损伤等优点。采用２００Ｗ汞灯辐照和ＮａＯＨ的溶液腐蚀可......
