光针法相关论文
表面形貌的测量理论与方法研究是测量领域的研究热点之一，近年来国内外提出了多种新的表面形貌测量方法。本文提出了一种基于三维驱......
介绍了一种用于工程表面形貌测量中的基于傅科探测法的光针式位移传感器的测量原理，运用波动光学理论对该传感器光学模型进行了理论......
提出了基于垂直扫描伺服工作台的光针式表面测量方法。阐述了光学探针法的工作原理，光针式表面测量系统中垂直扫描伺服工作台的结构......
