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斜角入射沉积TiO_2薄膜的光学特性和表面粗糙度
采用电子束热蒸发技术在K9玻璃基底上以不同的沉积入射角沉积了单层TiO2薄膜,研究了不同入射沉积角沉积的TiO2薄膜的光学特性、填......
期刊
薄膜
二氧化钛薄膜
入射沉积角
光学特性
表面粗糙度
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热蒸发
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均方根粗糙度
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