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无掩模全息衍射光栅的形成

本文主要讨论利用激光的光化学反应,在Ag金属膜表面、GaAs半导体表面无掩模全息衍射光栅的形成。......

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毫微加工全息衍射光栅全息曝光法掩模 nanofabrication holographic diffraction grating photochem

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