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冲击加速度开关相关论文
开关点电可调节的MEMS冲击加速度锁定开关
介绍了一种基于机电耦合原理的新型冲击加速度MEMS开关.此开关的阈值开关点可以通过偏置电压的改变进行调节设置,同时具有自锁定功......
期刊
MEMS
冲击加速度开关
开关点电可调节
锁定
机电耦合
MEMS
shocking-acceleration switch
threshold adjus
硅微机械加速度开关技术研究
加速度开关是对惯性加速度敏感并在加速度超过某一阈值时,提供开关闭合动作的器件。利用MEMS技术研制的阈值加速度开关具有低功耗、......
学位
MEMS
惯性-静电耦合原理
冲击加速度开关
阈值可调
自锁
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