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提高冷氢化技术中三氯氢硅的收率是多晶硅生产以及有机硅行业急需解决的技术难题。在对工艺装置的温度、压力等技术参数基本达到最......
多晶硅在生产过程中会产生对环境有破坏作用的四氯化硅(SiCl4),要使多晶硅在生产过程中产生的有害物质得到有效利用,大幅降低生产成......