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光学干涉检验作为光学系统和光学面形的评价基准,具有纳米级的高测量精度。为对更大口径的光学系统和光学元件进行质量评估,需要研......
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为测量大口径准直波前的准直性，开发了基于电子自准直仪的准直波前检测系统．介绍了大口径准直波前检测原理及检测装置，分析了主要误差......
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为了保证大口径近红外干涉仪的测试精度,必须严格控制其出射波前的准直性。采用五棱镜扫描系统将干涉仪的出射波前分割成若干个子......
