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基于POS声表面波器件制造技术研究
铌酸锂(LiNbO3)作为一种压电材料,常被用于声表面波(SAW)器件的压电层。通常LiNbO3晶片的厚度远大于SAW器件要求的厚度,难以满足SA......
学位
SAW器件
LiNbO3晶片
键合
减溥
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