为优化槽栅器件结构,提高槽栅MOSFET的性能和可靠性,文中用器件仿真软件对凹槽拐角对深亚微米槽栅PMOSFET的特性影响进行了研究.研......

短沟道效应是小尺寸ＭＯＳＦＥＴ中很重要的物理效应之一，凹槽栅ＭＯＳＦＥＴ对短沟道效应有很强的抑制能力，通过对凹槽栅ＭＯＳＦＥＴ结构，特性的研究，发现凹槽拐角对凹槽栅......