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凹槽拐角相关论文
凹槽拐角对深亚微米槽栅PMOSFET特性的影响
为优化槽栅器件结构,提高槽栅MOSFET的性能和可靠性,文中用器件仿真软件对凹槽拐角对深亚微米槽栅PMOSFET的特性影响进行了研究.研......
期刊
槽栅P沟金属-氧化物-半导体场效应晶体管
凹槽拐角
器件特性
groovedgate PMOSFETs
concave corner
characteris
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