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飞秒矢量激光直写技术可以极大地压缩激光作用区域，减少激光对材料的热影响，其作用时间以飞秒尺度计算，而离子体生成时间以皮秒尺度计......
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质......
作为一种新型的激光成型技术,飞秒激光双光子微细加工具有真三维的制作能力和亚微米的加工分辨率等技术特点,在MEMS研究领域受到越......
过去的五十年是激光技术飞速发展的时期,激光脉冲宽度突破了纳秒进入了飞秒量级,超短的脉冲宽度和激光器锁模技术的突破给激光提供......
飞秒激光可以与包括玻璃、陶瓷、半导体、金属、塑料、树脂等各类物质产生相互作用,其相互作用原理不同,加工方法也不同。利用非线......
期刊
建立了一种利用双光子聚合技术快速制备三维微结构的方法，并对加工分辨率进行了研究。通过对高速扫描原理的研究，提出了采用二维振镜......
三维复杂结构微器件对于实现微机电系统的功能至关重要,但是加工三维复杂微结构对于传统的微细加工技术是一个挑战。面投影微立体......
学位
介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成形三维复杂微型器件的一次曝光型微立体光刻成形装置.重点给出了经薄膜晶体管阵列编址的......
