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化学液气相沉积工艺相关论文
预制体几何形状对化学液气相沉积工艺的影响
考察了预制体几何形状在高频辅助化学液气相沉积(CLVD)工艺中的作用.相同高度、不同直径的预制体存在一个最佳直径,形成由内向外的......
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化学液气相沉积工艺
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