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区域可控空心阴极相关论文
区域可控空心阴极放电特性及其对Si-DLC薄膜性能的影响
大型工件表面失效是限制轴承、汽车、机械制造等行业发展的重要瓶颈。在工件表面沉积功能薄膜是延长工件使用寿命、提高性能的有效......
学位
区域可控空心阴极
放电特性
Si-DLC薄膜
偏压
均匀性
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