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半导体外延层相关论文
半导体外延层晶格失配度的计算
比较了晶格失配度的各种定义,建议统一使用同一定义。采用简化模型系统地探讨了各种情况下半导体外延生长层和衬底的二维晶格失配......
期刊
晶格失配度
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二维晶格
半导体外延层
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