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单晶炉热场温度相关论文
无需参考信号的单晶炉温度干扰抑制新方法
为有效地抑制单晶炉热场温度测量值中的低频干扰,改善热场温度的估计精度,提出了一种无需参考信号的新的自适应对消法。该方法将迭......
期刊
单晶炉热场温度
低频干扰
干扰抑制
自适应对消法
迭代自适应法
single crystal furnace heat zone temperature low
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