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单靶溅射相关论文
透明导电薄膜ZnO:Ga性能研究及其在太阳电池上的应用
随着太阳能应用技术的不断发展,对于薄膜太阳电池各功能材料层的性能要求也越来越高,透明导电膜作为薄膜太阳电池的窗口电极对于太阳......
学位
孪生对靶
单靶溅射
非晶硅电池
透明导电薄膜
太阳电池
氧化铟
光电性能
CIGS电池、靶材及单靶溅射工艺研究进展
综述了蒸发法、溅射后硒化法、单靶直接溅射法制备CIGS光吸收层的工艺和电池性能,比较了它们的优缺点;详细介绍了粉末冶金参数(如......
期刊
CIGS电池
粉末冶金
单靶溅射
光电性能
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