压电超精密定位台相关论文
为了提高压电超精密定位台的建模精度,采用Backlash-Like迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性,采用基于遗传因子的递......
微纳米定位技术已经发展成高精密定位领域的关键性技术之一,而微纳米定位技术核心执行器材料的选择对定位精度有非常显著的影响。......
