压膜空气阻尼相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

压膜空气阻尼相关论文

微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程

推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程．该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽流......

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压膜空气阻尼微电子机械系统槽板雷诺方程 squeeze-film air damping MEMS slotted plate Reynolds eq

孔的形状和排列方式对厚孔板微结构压膜空气阻尼的影响分析

本文对微结构上孔的形状和排列方式对压膜空气阻尼的影响进行了理论和模拟分析.理论研究表明对于不同厚度、不同排列方式下的孔单......

期刊

MEMS加速度计压膜空气阻尼孔板孔排列优化设计

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