压阻式微加速度计相关论文
基于MEMS工艺加工制作的压阻式微加速度计是微惯性测量系统的关键组成部分,具有体积小、重量轻、一致性好,结构、敏感原理和检测电......
以压阻式微加速度计为研究对象，定量研究了环境温度对其灵敏度的影响。理论研究结果表明，压阻式微加速度计灵敏度的相对误差随着温度......
采用微机械加工工艺制作的压阻式微加速度计在测试过程中经常出现动态特性欠佳甚至于结构损坏的现象，在压阻式微加速度计中，合理设计......
对于广泛采用的压阻式微加速度计,在传统工艺下,提高量程和固有频率意味着增加梁厚,减小应力,而提高灵敏度又要求减小梁厚,这是相......
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针对目前判断器件的可靠性实验中存在成本高、周期长的问题,对微型压阻式加速度计在冲击载荷作用下的动态力学响应特性进行研究,获......
