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微型谐振传感器反馈测量系统研究
谐振式传感器是以内部谐振子频率信号作为输出的传感器,待测参数使谐振子等效质量、刚度系数或阻尼系数产生变化,通过谐振子的谐振......
学位
谐振式传感器
谐振频率
检测系统
闭环反馈
等效质量
阻尼系数
品质因数
原子分辨力
氢气分子
质量传感器
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