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熔石英表面大气等离子体去损伤加工关键技术研究
大口径熔石英元件在以激光核聚变系统为代表的强光光学系统中有着广泛运用,如何高效无损地加工熔石英元件是目前光学加工面临的难......
学位
大气等离子体
大口径熔石英元件
去损伤加工
去除函数
均匀去除
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