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本文针对目前AFM测量线宽中所存在的一些问题,进行了基于AFM的纳米尺度线宽测量技术的研究.研究了AFM的工作原理、成像过程、仪器......
与传统探针相比,使用碳纳米管探针能探测到更精细的样本表面形貌,为减小针尖形貌和尺寸造成的测量误差提供了一个良好途径。然而,......
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