双岛结构相关论文
自20世纪50年代,半导体硅的压阻特性被发现以来,硅基压力传感器就被广泛研究,而压阻式硅压力传感器更是很早就被商品化并大量使用......
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中......
为解决传统半导体压力传感器温度特性差、非线性度高等问题,设计一种基于双岛结构的多晶硅纳米薄膜压力传感器。利用有限元分析软......
