双束聚焦离子束相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

双束聚焦离子束相关论文

DB-FIB中由不完全分解的Pt导致样品表面污染的解决方法

双束聚焦离子束（DB-FIB）已经成为半导体工业中,尤其是失效分析（FA）工作中非常重要的工具,被广泛应用于集成电路的缺陷分析和修整、TEM（......

期刊

双束聚焦离子束离子束辅助沉积Pt电流表面污染 Dual beam-focused ion beam I-beam Pt deposition curren

看过本文同时还关注