双桥结构相关论文
本课题研究了一种基于MEMS技术的具有双桥结构的硅气体流速传感器。从理论上阐述了微悬桥结构气体流速传感器的工作原理,设计了微......
介绍了一种K波段双桥结构的电容式RF MEMS开关，该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结......
