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双槽电化学腐蚀相关论文
一维纳米硅光子晶体的制备与优化
采用双槽电化学腐蚀法制备了纳米多孔硅,主要研究了腐蚀时间和腐蚀电流对重掺杂p型(100)硅衬底上制备的多孔硅层有效光学厚度的影......
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