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双磁导向相关论文
真空镀膜系统基片架与双磁导向体系的设计与应用
一种顶吸式磁导向机构。我们设想将磁导轨磁力吸附方式改为顶吸式,就是让磁导轨上的磁铁和基片架上的磁铁上下隔离一段距离而且极性......
期刊
真空镀膜
基片架
双磁导向
vacuum coating
substrate supporter
double magneticguidance
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